产品介绍
随着先进封装向高密度三维集成发展,键合界面对强度及齐全性提出更高要求。Ascella 300 是一款键合强度检测设备,适配熔融键合、混合键合等先进键合工艺,利用于工艺验证阶段的晶圆键合强杜纂界面质量检测。 产品搭载高清红表成像系统,可对整片晶圆键合界面实时成像,捉拿并测算裂纹扩大长度,通过裂纹扩大法丈量键合强度;结合红表光学探测,鉴别界面浮泛,全面校验键合界面齐全性,为先进封装提供可量化的键合强度判断凭据。