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产品介绍
产品介绍
PF-300T Astra 是一款等离子加强原子层沉积（PEALD ）设备，聚焦关键介质填充，重要利用于浅沟槽隔离（STI）、预金属介质层层间介质（PMD/ILD）等工艺 。产品选取 O?/TEOS 热化学沉积，针对复杂沟槽与间隙结构，可沉积高质量的 TEOS SiO?和BPSG 薄膜，实现无浮泛介质填充，搭载 PF-300T 高产能平台，两全薄膜质量与量产能力 。
- 高质量 TEOS SiO?和 BPSG 薄膜沉积能力
- 双驱控温加热盘，满足分歧厚度均匀性的需要
- 可按客户需要配置多路液态源
- 可搭载1~3个反映腔
